刻蚀器件主要用于等离子体刻蚀腔体及相关反应系统中，需在高能离子与腐蚀性气体环境下保持优异的机械与化学稳定性。UPAM提供的刻蚀组件包括Window、Nozzle、Liner及陶瓷涂层部件等，采用高纯铝合金、氧化铝或氟化物陶瓷材料制造，表面经精密等离子喷涂与致密化处理。产品可显著提升刻蚀均匀性、降低粒子污染，并有效延长设备维护周期，满足先进节点制程的高精度与高可靠性需求。
已点赞
点赞
转发
已收藏
收藏
刻蚀器件主要用于等离子体刻蚀腔体及相关反应系统中，需在高能离子与腐蚀性气体环境下保持优异的机械与化学稳定性。UPAM提供的刻蚀组件包括Window、Nozzle、Liner及陶瓷涂层部件等，采用高纯铝合金、氧化铝或氟化物陶瓷材料制造，表面经精密等离子喷涂与致密化处理。产品可显著提升刻蚀均匀性、降低粒子污染，并有效延长设备维护周期，满足先进节点制程的高精度与高可靠性需求。