常用于半导体制造过程中的晶圆搬运尤其是在光刻机、刻蚀机、CVD和PVD设备中其高精度和高稳定性确保了晶圆在搬运过程中的安全性和可靠性。
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常用于半导体制造过程中的晶圆搬运尤其是在光刻机、刻蚀机、CVD和PVD设备中其高精度和高稳定性确保了晶圆在搬运过程中的安全性和可靠性。