微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)异质外延技术
利用基于表面微波谐振的紧凑型腔体设计实现直径120mm基片上的等离子体均匀度<±3%。创新采用低损伤氩氮混合等离子体预处理工艺,在Ir/YSZ/Si异质衬底上实现位错密度<10^6/cm²的金刚石外延层,经XRD双晶摇摆曲线检测(004)晶面半高宽仅78arcsec,接近天然Ⅱa型金刚石晶体质量。
金刚石复合片(PDC)界面强化技术
通过等离子体辅助物理气相沉积(PAPVD)在多晶金刚石层与硬质合金基体间构建梯度过渡的(Ti,Si,W)C纳米叠层结构,界面结合强度提升至400MPa级别(标准PDC约280MPa)。关键技术突破在于采用原位反应烧结工艺,实现金刚石微晶与过渡层碳化物的分子尺度机械互锁,彻底解决传统PDC高温工况下的分层失效问题。
高温高压(HPHT)大颗粒单晶金刚石合成技术
采用定制化大型六面顶压机,在超高温(>1400°C)、超高压(>5GPa)环境下精确控制碳源在金属触媒熔融体中的溶解与沉淀结晶动力学过程,实现宝石级单晶金刚石的定向生长。创新点在于独特的多段式压力温度梯度控制算法及特殊腔体设计,使单晶生长速率与缺陷抑制达到优化平衡,单次合成周期可稳定产出10克拉以上高净度单晶。