晶圆清洗技术
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产品详情
利用湿法清洗和超临界流体技术去除晶圆表面杂质和颗粒残留。创新点结合声波辅助和化学溶液优化，实现超低颗粒残留和高选择性清洗。用于后蚀刻或后沉积的清洁步骤。
员工数量
100-499人
公司简介
东电电子（上海）有限公司于2003年4月28日在自贸区市场监督管理局登记成立。法定代表人伊东晃（ITOHIKARU），公司经营范围包括半导体生产设备和平板显示生产设备及相关零部件等。
经营范围
一般项目：半导体生产设备和平板显示生产设备及相关零部件、软件的设计、研发、生产、安装调试、改造、维修，销售自产产品，提供相关技术咨询和服务，仓储服务（除危险品），自有设备租赁，半导体生产设备和平板显示生产设备及相关零部件、计算机软件（音像制品、电子出版物除外）的批发、佣金代理（拍卖除外）、进出口，并提供相关配套服务，受母公司及其授权管理的中国境内企业和关联企业的委托，为其提供投资经营管理和咨询服务、商品采购、销售（涉及许可的凭许可证经营）及市场营销服务、供应链管理等物流运作、资金运作和财务管理服务、技术支持和研究开发服务、信息服务、员工培训和管理服务，承接本集团内部的共享服务及境外公司的服务外包。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体生产设备和平板显示生产设备及相关零部件的供应
东电电子（上海）有限公司
有限责任公司(外国法人独资)
$600万
2003-04-28
MATSUURA TSUGUHIKO（松浦次彦）
021-38954800
tesgashare@tel.com
中国（上海）自由贸易试验区上海市张江高科技园区高斯路555号