晶圆传输与处理自动化系统
自动化晶圆搬运、清洗和定位系统，通过机器人技术和智能控制，减少人工干预，提升晶圆处理效率和良品率。
光刻机精密运动平台解决方案
为半导体光刻机设计的高精度运动控制系统，包括精密导轨、伺服驱动和位置反馈系统，实现纳米级定位和稳定性，适用于先进制程节点。
融资次数
11
员工数量
100-499人
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术培训；计算机系统服务、数据处理、计算机维修；基础软件服务、应用软件服务；货物进出口、技术进出口、代理进出口；工程和技术研究与试验发展；销售机械设备、通讯设备、金属材料、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电；半导体器件专用设备制造；电子元器件与机电组件设备制造；出租办公用房；企业管理。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
光刻机工件台系统的研发与制造，为集成电路芯片制造提供核心装备技术解决方案
北京华卓精科科技股份有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥2.5239亿
2012-05-09
孙国华
010-87142599
info@u-precision.com
北京市北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)