十大股东
序号
股东名称
持股比例
认缴出资日期
1
高安
50%
2030-03-05
2
罡佰科技（上海）合伙企业（有限合伙）
25%
2030-03-05
3
苏州启知致远投资合伙企业（有限合伙）
13%
2030-03-05
4
芯苜科技（上海）合伙企业（有限合伙）
8%
2030-03-05
5
海南高易天成投资合伙企业（有限合伙）
4%
2030-03-05
机构股东
序号
名称
1
联合化学
融资次数
1
公司简介
卓光芮科技（上海）有限责任公司主要开展投影式曝光机的研发，该产品主要应用于半导体晶圆制造的光刻步骤”。
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件销售；半导体分立器件销售；电子专用设备销售；电子产品销售；专用设备修理；电子专用材料研发；电子专用材料销售；电力电子元器件销售；新材料技术研发；电子元器件批发；电子元器件零售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
投影式曝光机的研发，应用于半导体晶圆制造的光刻工艺环节
卓光芮科技（上海）有限责任公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,500万
2025-03-07
高安
中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼