激光诱导应变表面微纳结构制造方法
该技术通过高能量脉冲激光局部辐照材料表面,诱发可控热应变效应,驱动材料发生塑性变形或相变形成预设微纳结构。创新点在于结合了热力学模型与实时反馈系统,实现对应变梯度、深度的纳米级精度调控(如实现周期性波纹或定制化拓扑结构),突破传统机械压印的尺寸限制。核心技术涉及激光参数(脉宽、能量密度)与材料响应的协同优化机制。
无掩膜纳米激光光刻系统
华维纳研发的LDW系列无掩膜激光直写光刻系统(如LDW-P1500)采用高精度激光束直接在基底上进行纳米级图案化,省去了传统光刻中的掩膜环节。核心技术在于利用空间光调制器(SLM)和精确的光学路径控制,实现亚微米至纳米级分辨率(例如150nm以下),支持动态图形生成和实时校准。创新点包括高速扫描算法与多波长激光集成,提升加工效率的同时保持边缘精度。
融资次数
2
员工数量
-
经营范围
研发、销售:纳米光电子设备;纳米技术开发。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
主营业务
纳米光刻技术和相关设备的研发与制造
苏州华维纳纳米科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥120万
2011-04-26
刘前
0512-67263269
szhuaweina@163.com
苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼107室