十大股东
序号
股东名称
持股比例
认缴出资日期
1
杭州长川科技股份有限公司
50%
2030-05-10
2
上海半导体装备材料二期私募投资基金合伙企业（有限合伙）
30%
2030-05-10
3
杭州本坚芯链股权投资合伙企业（有限合伙）
20%
2030-05-10
机构股东
序号
名称
1
长川科技
2
浦科投资
3
本坚基金