产品&解决方案
湿法光刻工艺装备，专注于半导体光刻胶的显影和后清洗工序。设备具备高精度喷嘴阵列和多段显影模块，可实现均匀显影厚度控制（误差±1nm），支持正胶和负胶工艺。系统包括自动化学液分配、温度调控和废水回收单元，优化工艺稳定性和环境合规性。应用于显示面板和先进封装领域，提高微细图形转移效率和分辨率至3微米以下。
自动化湿法清洗设备，专为半导体晶圆去除颗粒、有机物和金属污染物设计。采用模块化架构，集成多槽清洗单元（包括预洗、主洗、漂洗和干燥区），可处理硅、III-V族和硅基化合物材料。系统使用去离子水（DIW）和特定化学溶液（如SC1、SC2），确保小于10nm颗粒去除效率达99.9%。支持300mm晶圆规格，兼容工厂自动化协议（如SECS/GEM），减少人工干预和污染风险。
该设备主要用于半导体晶圆的湿法刻蚀工艺，具有高精度控制系统，可处理多种化学蚀刻液（如氢氟酸、硝酸等），适用于65nm至7nm制程节点的精细加工。支持单晶圆和多批次处理，具备实时监控和自动清洗功能，确保高均匀性和低缺陷率。应用于集成电路、功率器件等制造流程，提高良率至99.5%以上。
融资次数
1
员工数量
50-99人
公司简介
福拉特成立于2011年8月，致力于高端显示、泛半导体湿法工艺制程装备自主创新研发制造。作为国内领先的湿法制程装备一站式供应商，针对半导体及显示装备前沿技术、国家卡脖子技术、国产替代技术进行攻克，技术上已取得多项显著成果，并已获评省级专精特新、规上企业、国家高新技术企业等企业荣誉资质。
经营范围
自动化设备及配件、计算机软硬件研发、生产、销售、技术服务；橡塑制品、金属制品、电子元器件、五金交电销售；自营和代理各类商品及技术的进出口业务（国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
致力于高端显示、泛半导体湿法工艺制程装备自主创新研发制造，为客户提供一站式湿法制程装备解决方案
江苏福拉特自动化设备有限公司
有限责任公司
￥1,000万
2019-03-05
李素华
025-85503623
fae@flatae.cn
南京经济技术开发区红枫科技园A2栋第1层