电子特气工艺与系统解决方案
提供半导体、光伏、LED等产业所需超高纯度特种气体（如SiH4, PH3, B2H6, NH3, NF3, CF4等）的现场制气设备（若适用）、气体纯化设备、高洁净气源与大宗气体供应系统、大宗/特气输送与分配系统（GDS）、尾气处理系统（Scrubber）以及气体监测与控制系统(GMS)。确保气体纯度（通常要求6N及以上）、稳定性和使用安全。
高纯湿电子化学品一站式工程解决方案
为集成电路、平板显示、光伏电池等制造过程中所需的超高纯度蚀刻液、清洗液（如氢氟酸、硫酸、双氧水、显影液、剥离液、各类缓冲液等）提供从工艺配方、提纯设备、储存与输送系统（包括FOUP/FOSB清洗设备）到回收再利用的全流程解决方案。核心是确保化学品的超净、超纯（ppt级金属杂质控制）和稳定供应。
硅碳负极材料制备设备
针对锂离子电池高性能负极材料（硅碳复合材料）开发的专用制备设备。涵盖前驱体处理、复合、包覆、高温碳化/烧结等关键工艺步骤，实现规模化、稳定、高一致性的硅碳负极粉体材料生产。
电子级多晶硅还原炉系统
基于化学气相沉积 (CVD) 工艺原理设计，用于规模化生产超高纯度电子级多晶硅（半导体级和太阳能级）。系统核心包括高温炉体、高效热能管理、高纯度气体传输与控制系统、精密压力与温度控制单元，确保硅棒在受控环境中沉积生长。
融资次数
2
员工数量
50-99人
经营范围
许可项目：各类工程建设活动；建设工程设计；货物进出口；技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：从事新能源科技、半导体科技、化工科技领域的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务；半导体材料的研发、销售；机电产品、仪器仪表、半导体设备、光伏设备及零部件、工业自动化成套设备的销售；机电设备安装（除专控)、机械设备的生产。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
为泛半导体和新能源行业提供关键高纯原材料及设备的一站式解决方案，覆盖材料制备设备、湿电子化学品工艺与设备、电子特气工艺与设备等领域，结合核心科技成果推动产业高效发展。
上海韵申新能源科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,000万
2012-08-29
程佳彪
zhanghuaqin@rhyme-sh.com
上海漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1