光罩保护膜（Pellicle）技术
多层复合纳米膜技术，采用氟聚合物核心层+碳化硅保护层结构，厚度控制在100nm以下。实现＞99.6%的193nm/13.5nm波长透光率，粒子阻隔率＞99.99%。耐热性达450℃@1小时无变形。
相位移光罩基板技术
基于石英基材的高精度相位调制技术，通过在基板表面构建纳米级微结构实现光波相位偏移，提升光刻分辨率至7nm以下节点。采用离子束刻蚀工艺控制相位差精度±1°以内，表面粗糙度<0.5nm。
融资次数
1
员工数量
小于50人
经营范围
一般项目：电子专用材料研发；电子专用材料销售；新型膜材料制造；新型膜材料销售；合成材料制造（不含危险化学品）；合成材料销售；技术玻璃制品制造；技术玻璃制品销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；软件销售；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；信息技术咨询服务；企业管理咨询；货物进出口；技术进出口；进出口代理；集成电路制造；集成电路设计；集成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及产品销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用材料制造；电子元器件制造；电子元器件零售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
空白光罩基板和光罩保护膜的研发、生产与产业化
绍兴芯链半导体科技有限公司
其他有限责任公司
￥1.182亿
2022-12-23
李佳珍
0575-81165735
public@shaoxingcorechain.com
浙江省绍兴市柯桥区钱清中国轻纺原料城A1幢四楼20号