产品&解决方案
提供X-RAY等半导体检测设备，用于晶圆内部结构的无损成像与缺陷分析，确保器件可靠性和良品率。
通过刻蚀机（Etcher）实现半导体材料的精准选择性去除，用于在晶圆上形成微细电路结构，支撑纳米级器件的制造。
提供光刻工艺配套的涂胶显影设备（Coater-developer），执行光刻胶的均匀涂覆、预烘烤及显影处理，为后续光刻图形化提供关键支撑。
包括物理气相沉积（PVD）和等离子增强化学气相沉积（PEVCD）设备，用于在晶圆表面沉积金属或介质薄膜，满足半导体器件的导电与绝缘层制备需求。
提供永久键合设备（Bonder）和临时键合/解键合设备（Debonder），用于半导体制造中晶圆的永久性或临时性键合工艺，实现多层结构的封装与分离。
X-RAY无损检测设备用于半导体封装和组件的内部结构成像，检测焊点、空穴、裂缝等缺陷，提供高分辨率断层扫描功能，支持BGA、QFP等封装类型，提高良品率和产品可靠性。
半导体刻蚀设备分为干法刻蚀（如RIE、ICP）和湿法刻蚀，通过化学或物理移除材料形成精密结构，支持硅、氧化物、金属等的蚀刻，用于图案化制造中的导线、孔洞和槽形成，确保高选择比和低损伤。
自动化设备用于光刻工艺的涂胶、前烘、曝光后烘和显影步骤，集成匀胶机、热板和显影槽，支持正负光刻胶处理，提供高分辨率图形转移，适用于晶圆级封装和前道制造，减少人为误差和污染。
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融资次数
1
员工数量
小于50人
公司简介
海创智能装备（烟台）有限公司 秉承“海纳百川，创新未来”的信念，致力于打造专业化、规模化、技术领先的半导体装备技术服务平台，成为半导体装备领军企业。产品涉及永久键合设备Bonder、临时键合/解键合设备Debonder、物理气相沉积设备PVD、等离子增强化学气相沉积设备PEVCD、涂胶显影设备Coater-developer、刻蚀机Etcher、半导体检测X-RAY等。
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；仪器仪表制造；仪器仪表销售；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；信息技术咨询服务；物联网技术研发；工程和技术研究和试验发展；新兴能源技术研发；汽车零部件研发；电子产品销售；租赁服务（不含许可类租赁服务）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用材料研发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：检验检测服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
主营业务
半导体制造关键设备的研发、生产与技术服务，覆盖晶圆处理全流程核心工艺装备。
海创智能装备（烟台）有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股的法人独资)
￥1亿
2017-09-13
杨云春
0535-6381756
ytsjqrzj@163.com
中国（山东）自由贸易试验区烟台片区宁波路17号海创大厦10层