射频电源技术
这是一种高频射频电源系统，工作在2MHz至60MHz频率范围内，专为半导体设备设计。关键技术包括高频功率转换、精确频率控制和高稳定性输出，用于高效生成和维持等离子体，特别是在半导体制造中实现高精度工艺控制。创新点在于通过自主研发实现了频率自适应技术，可在宽带范围内优化功率传输效率，减少电磁干扰和能量损耗，支持多种复杂工艺环境下的稳定运行，并打破国际技术垄断。
融资次数
1
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；电子专用材料研发；通用设备制造（不含特种设备制造）；通用设备修理；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；机械零件、零部件销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
研发、生产与销售射频电源和功率控制电源为核心的半导体核心零部件，用于半导体制造及多元工业应用
精睿源科技（北京）有限公司
其他有限责任公司
￥111万
2024-07-12
单春玲
北京市海淀区北三环西路25号2号楼一层110室