中央集成监控系统（CMS）
以物联网架构为核心，整合Sub-FAB设备（如Scrubber、真空泵、加热带）的实时数据采集、分析和预警，创新点包括基于机器学习的预测性维护算法（预测准确率>95%）、模块化插件系统快速适配不同厂务接口，以及云计算平台实现Fab-wide优化调度，支持国产化OS平台集成。系统突破数据孤岛问题，提升整体设备效率（OEE）和安全合规性。
精准温控加热技术
基于陶瓷加热元件和多点温度传感器，提供晶圆加热带温度均匀性（<±1℃）控制，覆盖-50°C至800°C范围，创新点包括闭环PID控制系统、快速热响应（升温速率>10°C/s）和AI算法优化热分布，应对半导体退火和扩散工艺变异性，提升产品良率。技术支持国产材料和结构，实现高性能替代。
高可靠性真空泵技术
采用干式涡轮分子泵和耐腐蚀合金材料，实现超高真空（<10^{-8} Torr）环境，满足半导体沉积和蚀刻工艺要求。创新点包括自适应压力控制算法、集成振动抑制机制减少晶圆损伤风险，以及长寿命密封设计（MTBF>40,000小时），显著提升设备稳定性和工艺一致性。技术结合本土制造优势，打破了欧美厂商在高纯度真空设备领域的壁垒。
高效尾气净化技术
基于湿式或干式吸收剂系统，针对半导体制造中产生的酸性气体（如HF、HCl）和有害卤素化合物（如AsH3、PH3）进行高效去除，创新点包括优化吸附动力学、集成智能传感器实现实时气体浓度监控，并利用模块化设计降低能源消耗和系统维护需求，确保高处理效率（>99%）和低排放标准合规。技术源自国产替代需求，突破了国外在材料配方和反应器设计上的垄断。
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
30
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；机械电气设备制造；泵及真空设备制造；气体、液体分离及纯净设备制造；电子（气）物理设备及其他电子设备制造；普通机械设备安装服务；电气设备修理；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；机械零件、零部件加工；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；机械电气设备销售；泵及真空设备销售；气体、液体分离及纯净设备销售；电气设备销售；制冷、空调设备销售；电子产品销售；电力电子元器件销售；机械零件、零部件销售；电子专用材料销售；机械设备研发；信息系统集成服务；货物进出口(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
亚笙半导体的主营业务是设计、制造并提供Sub-FAB附属类设备的一体化解决方案，包括尾气处理设备（Scrubber）、真空泵设备、加热带设备及CMS中央集成系统，服务于泛半导体领域，实现国产替代和世界一流目标。
浙江亚笙半导体设备有限公司
有限责任公司（外商投资、非独资）
￥4,694万
2022-09-30
杨伟刚
0551-62756928
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浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道魏中路1号7栋厂房一层