半导体蚀刻设备改造项目
参与8英寸晶圆厂蚀刻机真空系统升级,提供CF法兰金属波纹管组件替换原进口配件。根据设备空间限制设计紧凑型双壁结构,通过表面电解抛光处理使放气率降低至1×10^-11 Pa·m³/s,满足半导体工艺对微粒污染控制的严苛要求。
光伏镀膜设备真空传输方案
服务光伏行业龙头企业在铜铟镓硒薄膜太阳能生产线,提供全系列ISO/KF真空波纹管连接系统。针对镀膜腔体间的高精度气体传输需求,设计多向挠性补偿结构,定制化解决设备热变形导致的管路应力问题,保障PVD工艺中持续维持5×10^-5 Pa的工作真空度。
航空航天领域真空管路系统
为国内某航天科研机构定制DN80真空波纹管组件,应用于火箭燃料输送系统测试平台。采用316L不锈钢材质,通过氦质谱检漏确保10^-9 Pa·m³/s的泄漏率标准,特殊设计补偿管路热胀冷缩位移,支撑系统完成连续300小时极限真空压力测试。