极紫外（EUV）光罩盒技术
专为EUV光刻工艺设计的光罩盒（Pellicle）传输与存储解决方案，采用多层复合防护结构及精密温湿度控制模块。其核心技术在于光罩盒的密封防护机制与动态粒子过滤系统，通过特殊材料表面处理（如抗静电涂层）及微环境气帘隔离技术，实现光罩在晶圆厂内搬运过程中亚微米级微粒与分子级污染物的主动防护。创新点体现在：1）低释气材料选择，减少EUV光源敏感有机物污染；2）集成式传感器实时监测盒内微环境洁净度；3）热力学优化设计避免光罩热变形。
员工数量
100-499人
专利数量
54
经营范围
一般项目：光学仪器制造；光学仪器销售；货物进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
光电显示材料及器件的研发、生产和销售，为客户提供各类光电显示解决方案
世大光电（东莞）有限公司
股份有限公司（港澳台投资、未上市）
￥7,850万
2018-03-29
陈柏年
fish@star-optical.net
广东省东莞市东坑镇茶亭楼二路2号3号楼