半导体类密封装置
这是一种专为半导体制造优化的密封装置，专门应对半导体设备的严苛要求，如PVD、CVD、ALD和刻蚀工艺中的高真空环境。采用特殊材料增强耐腐蚀性，在极高真空度（<10-8 Pa）和高速（20000转/分）下保持密封性能。核心应用包括薄膜沉积设备、半导体晶圆处理系统，为 Lam Research、北方华创等合作伙伴提供高质量解决方案。
重载类密封装置
这是一种专为大型和重型设备设计的密封传动装置，具备高强度结构和磁流体密封技术，适用于高载荷和恶劣环境。可承受高温（最高600℃）、高速（可达12000转/分）和高压力条件，提供持久密封性能。主要应用在重工业领域，如大型真空炉和物理气相沉积设备，确保设备在高强度使用下的可靠性。
微型轴类密封装置
这是一种小型轴密封装置，针对微型设备和精密仪器需求设计。采用先进磁流体密封技术，体积小但密封能力强，支持高速旋转（最高达25000转/分）和高温环境（最高400℃）。适用于空间受限的应用，如液晶再生设备和精密传感器系统，提供高效真空密封，减少能耗。
ISO法兰类密封装置
这是一种符合ISO法兰标准的实心轴密封传动装置，专为各种工业设备设计，适用于高温、高速和高真空应用。磁流体密封核心确保在苛刻环境下（如500℃高温、18000转/分转速）的稳定密封，有效防止介质泄漏。典型应用包括单晶硅炉、热处理炉和电子指示器设备，提升设备性能和使用寿命。
CF法兰类密封装置
这是一种实心轴密封传动装置，基于CF法兰国际标准设计，适用于高真空系统。其磁流体密封技术提供卓越密封性能，支持高温（最高可达450℃）和高速（可达15000转/分）操作。主要应用于真空炉设备、刻蚀设备等领域，在半导体生产线的超高真空环境下保障设备的长期可靠性，减少维护需求。
FK法兰类密封装置
这是一种实心轴密封传动装置，设计符合FK法兰标准，采用磁流体密封技术，适用于高温、高速和高真空的应用场合。主要功能是提供可靠轴密封，防止真空系统泄漏，耐腐蚀性强，可在500℃以上温度、20000转/分的高速下工作。常用于真空镀膜设备、半导体制造设备如PVD和CVD系统中，确保设备在真空环境中的稳定运行。
融资次数
1
员工数量
-
经营范围
一般项目：新材料技术研发；机械设备研发；电子专用材料研发；新兴能源技术研发；密封件销售；软磁复合材料销售；半导体分立器件制造；工业机器人制造；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；计算机软硬件及辅助设备零售；信息系统集成服务；货物进出口；技术进出口(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
提供磁流体密封装置及配套密封模组，专注于半导体、真空设备等高要求工业应用。
浙江微磁半导体科技有限公司
其他有限责任公司
2024-05-10
楼允洪
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