CDS化学集中供液系统
集成化化学品输送与管理系统，包含高纯度管道、精密泵组、多级过滤装置及实时浓度监测模块。支持酸碱、光刻胶、CMP浆料等液体的自动分配与循环控制，有效降低污染风险并实现化学品用量精确管理。
高端PP/PVC通风柜/橱
实验室级耐腐蚀通风设备，主体结构采用聚丙烯（PP）或聚氯乙烯（PVC）材料制造，配备高效过滤系统与防爆组件。用于安全处理强酸、强碱及有机溶剂等危险化学品，保障实验人员操作安全，符合ISO Class 5洁净标准。
清洗设备
采用定制化化学试剂与去离子水组合方案，配备多槽体处理单元，可执行RCA标准清洗、臭氧清洗及颗粒去除等工艺。适用于去除晶圆表面的微粒、金属离子及有机污染物，满足半导体制造前道与后道工序的洁净度要求。
湿法制程刻蚀设备
用于半导体、微电子等领域的精密湿法蚀刻工艺，通过化学溶液在特定工艺参数下对晶圆表面进行选择性腐蚀。支持不同材料层的精细图形化处理，适应硅片、化合物半导体等多种基材，工艺稳定性高。
员工数量
小于50人
专利数量
22
经营范围
研发、生产、销售：半导体、集成电路设备、清洗设备、真空设备、太阳能光伏设备、电子配件、五金配件、机械配件，并从事上述产品及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
苏州晶淼半导体设备有限公司的主营业务是为半导体、光伏、光通信、LED等行业及高等院校、研究所提供一站式设备解决方案，包括湿法制程刻蚀设备、清洗设备、高端通风柜系统和化学集中供液系统，以支持高效生产和安全研发。
苏州晶淼半导体设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2014-11-25
王海龙
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