设计软件销售
公司销售自研或授权的高精度MEMS设计和分析软件工具，用于微结构布局、模拟仿真和数据处理。软件支持多物理场耦合分析（如热、力、电耦合），优化器件设计效率，适用于微光学和微机械系统开发。销售服务包含技术支持和培训，满足定制化需求。
MEMS设计咨询服务
针对客户定制化需求，公司提供专业的MEMS器件设计优化咨询，包括微结构仿真、工艺匹配建议以及版图绘制指导。服务覆盖航空/航天惯性传感器、汽车电子压力传感器及工业检测微系统的开发，帮助客户缩短研发周期、降低成本。咨询基于公司自主研发的经验数据库和仿真软件，确保高可靠性和性能指标。
MEMS工艺服务
公司提供全面的微加工工艺外包服务，涵盖MEMS制造全程。服务内容包括：单面光刻和双面光刻（用于图形转印）、硅-玻璃阳极键合（实现腔体密封）、KOH或TMAH湿法腐蚀（形成硅微结构）、干法或湿法氧化（生成氧化硅层）、多晶硅/氮化硅/二氧化硅低压化学气相沉积（LPCVD）薄膜生长、反应离子刻蚀（RIE）用于薄膜去除、硅深槽刻蚀（DRIE）制作深孔结构、化学机械抛光（CMP）平整化、快速热退火（RTA）改善材料性能、划片（dicing）和平行缝焊（为封装密封）。此外，提供设备能力包括台阶测试、表面轮廓测试、激光多普勒测试（用于动态性能评估）、方块电阻测试、IV测试（电流-电压特性测试）和CV测试（电容-电压特性测试），设备总价值超3000万元的无尘室支持批量生产。
MEMS微型光栅
这是公司另一款标志性产品，采用微细光栅结构设计，用于光束分光和衍射应用。广泛应用于光谱分析仪、通信设备及微型光学传感器中，提供高衍射效率和结构稳定性。公司在光栅微加工技术上拥有自主知识产权，通过反应离子刻蚀（RIE）和表面轮廓测试优化，确保器件的高精度和可靠性。
MEMS微型扫描镜（扭转镜）
作为公司领先的核心产品之一，这是一种微机电系统执行器，采用高精度扭转载动结构，用于光学扫描和光束控制应用。主要应用于激光投影显示、激光雷达（LiDAR）、工业扫描仪以及微光学仪器中，具有低功耗、高响应频率和精确位移控制的特性。公司在国内取得领先地位，产品基于硅基材料，通过深槽刻蚀（DRIE）等工艺实现微纳级加工。
员工数量
小于50人
专利数量
13
经营范围
半导体和微系统工艺服务、设计咨询和设计软件销售、半导体与微系统的制造和测试设备研制及销售；微型传感器和执行器的研制与生产及销售；微系统与半导体相关耗材销售；半导体和微系统加工工艺流程及系统内职工培训；货物与技术的进出口经营（国家限制、禁止和须经审批进出口的货物和技术除外）；集成电路的设计、流片、封装、测试和销售；电子产品的设计、研制和销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
专注于微机电系统（MEMS）技术在航天航空、工业检测和汽车电子领域的产品开发、工艺服务及设计咨询，提供MEMS传感器、执行器和微系统解决方案。
西安励德微系统科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2010-10-26
蔡锐龙
xiaomeng@leadmems.com
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