激光雷达光学标定平台
提供多自由度运动控制平台配合准直光源，实现对车载激光雷达的视场角校准、光轴平行度调整及距离模拟测试。系统集成高精度转角台（±0.001°）、可编程靶标及光功率分析模块。
半导体光罩缺陷检测系统
采用深紫外显微成像技术实现对晶圆光罩的尘埃污染、划痕及图形缺陷的自动识别，配备机器学习算法对缺陷进行分类分级。系统包含暗场照明模块、高分辨率CCD相机及洁净度100级的密封环境仓。
光学镜头检测解决方案
提供基于光学干涉仪的精密镜头面形检测系统，通过高精度波前分析技术实现对球面/非球面镜片的表面粗糙度、曲率半径和面形误差的全自动测量。系统整合了气浮隔震平台、环境温控模块和自动化机械臂，确保纳米级测量精度。