干法刻蚀设备高精度电极
设计用于干法刻蚀(DRY Etch)设备的专业高精度电极组件，服务于集成电路制造中的蚀刻制程，提供高效的离子束控制和刻蚀均匀性。该电极具有高耐腐蚀性和低损耗特性，适用于高频率等离子体环境，确保蚀刻深度和轮廓精度在纳米级尺度；广泛应用于刻蚀硅、金属和多层结构材料的过程，以提高芯片生产的效率和可靠性。
CVD设备高精度电极
设计用于化学气相沉积(CVD)设备的专业高精度电极组件，主要应用于集成电路制造中的薄膜沉积过程，提供精确的等离子体控制、温度均匀性和热稳定性，以支持芯片制造的高良率要求。具体特点包括优化电极表面材料设计以减少污染物附着、增强镀膜均匀性，并兼容多种CVD设备平台，是沉积关键膜层（如氮化硅或氧化硅）的核心部件。
融资次数
2
员工数量
100-499人
专利数量
97
经营范围
精密机械设备生产，电子设备、通讯产品、机电设备及真空设备的研发、销售、维护，机电设备及真空设备零部件清洗服务，陶瓷材料、仪器仪表、液晶材料、化工产品（除危险化学品）、照明设备、计算机软件及配套设备、传感器的销售，商务信息咨询，自营和代理各类商品及技术的进出口业务（国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）***
主营业务
作为科技型企业，主要专注于集成电路产业关键核心技术的研发和产业化应用，核心业务是生产和销售用于CVD设备和DRY设备的高精度电极。
芜湖通潮精密机械股份有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥2,750万
2016-03-10
司奇峰
0553-5856592
jiangnianchang@tcm-wh.com
芜湖长江大桥综合经济开发区泥埠路1号1#办公楼