半导体行业工艺设备用节能型真空预抽/维持方案（测试阶段方案）
针对半导体设备（如刻蚀、CVD、离子注入等）辅助腔室或负载锁腔，提供快速预抽与真空维持解决方案。重点解决节能降耗、低振动和洁净度需求（依据公开信息显示当前处于单机测试阶段）。
化工制药行业腐蚀性气体/溶剂处理真空解决方案
采用耐腐蚀设计的螺杆真空泵及配套系统，用于处理溶剂回收、蒸馏、干燥、过滤等工艺过程中产生的腐蚀性气体、可凝性蒸汽及粉尘混合物。系统具备高抗腐蚀性和可靠密封性。
光伏行业单晶硅拉晶真空解决方案
基于螺杆真空泵为核心的真空系统，为单晶硅拉晶炉提供稳定、可靠的真空环境，满足硅棒生长工艺所需的真空度和抽速要求，适用于从熔料到晶棒生长的全过程。
融资次数
1
员工数量
-
专利数量
6
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备研发；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售；机械设备销售；电子产品销售；机械设备租赁；信息技术咨询服务；信息系统集成服务；货物进出口；技术进出口；贸易经纪；国内贸易代理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
专注于研发、生产和销售应用于光伏产业、化工制药行业的核心工业真空设备（包括螺杆真空泵、罗茨泵及真空泵组），并积极向半导体行业应用拓展。
苏州锐昇聚创科技有限公司
有限责任公司（港澳台投资、非独资）
￥1,810万
2023-10-09
魏九桢
18622662700
中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区杏林街78号新兴工业坊8-1-2