公司简介
武汉微环控技术有限公司成立于2021年,是国家高新技术企业。主要研究温度测量、温度控制、气压控制、噪声控制、湿度控制、洁净度控制和电磁屏蔽等微环境控制技术,主要产品为气温控制柜、水温控制柜、装配式洁净间、高精度温度场采集系统等,为投影光刻机、集成电路量测设备和生命科学等尖端装备提供微环境控制功能部件及解决方案,产品技术水平处于国内领先。
公司技术团队自2002年以来一直从事国产投影光刻机微环境控制技术研究,是国内最早从事该项研究的专业团队,承担了国产干式和浸没光刻机相关的5项国家科技重大专项研究任务。