电磁屏蔽技术
运用复合材料和结构优化设计,提供高频电磁干扰屏蔽效能,实现50dB以上的隔离强度,创新点包括可动态调整屏蔽特性,以适应不同电磁环境,确保敏感设备如光刻机的信号传输不受干扰。
洁净度控制技术
采用多层高效过滤系统和智能风压平衡技术,实现微环境洁净度达到ISO 1级标准(0.3μm颗粒物浓度<1个/立方米),创新点包括气流优化设计和实时污染监测,有效预防颗粒污染,保障设备工作区无菌无尘。
高精度温度控制技术
基于精密传感器和先进控制算法,实现对微环境温度的纳米级稳定调控,减少温度波动至±0.01°C水平,创新点包括自适应补偿机制,能够动态调整环境参数以应对热扰动,确保如投影光刻机等设备的长期稳定运行。
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
15
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;半导体器件专用设备制造;集成电路制造;电子专用设备制造;通用设备制造(不含特种设备制造);电子元器件与机电组件设备制造(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
为投影光刻机、集成电路量测设备和生命科学等尖端装备提供微环境控制功能部件及解决方案,核心技术包括温度、气压、噪声、湿度、洁净度和电磁屏蔽控制等,产品如气温控制柜、水温控制柜、装配式洁净间和高精度温度场采集系统等,技术处于国内领先水平。
武汉微环控技术有限公司
有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
¥525万
2021-07-27
李冬平
18186210038
gr@mec-tech.net
武汉东湖新技术开发区里沟南路8号武汉智能装备园一期2楼F2A207号(自贸区武汉片区)