真空系统
包括真空产生、输送和控制设备,用于半导体蚀刻和沉积工艺中的真空环境处理。采用无油干泵技术,确保无污染和低维护需求,适用于晶圆制造厂(如CVD/PVD设备),压力范围覆盖10^{-3}至10^{-9}Torr。
工业自动化软件
提供iCompass软件平台,用于实时监控化学品和气体输送系统的运行状态。支持数据采集、远程控制、预测性维护和报表生成,应用于工厂自动化环境,帮助优化设备性能、减少故障时间,并符合工业物联网(IIoT)标准。
电子气体系统
集成系统针对电子制造设备(如MOCVD)设计,处理刻蚀气体(如三氟化氮)和惰性气体。涵盖气体源柜、气体分配面板和控制软件,确保气体纯度满足0.1ppm(百万分之一)以下标准,并具备泄漏检测和安全联锁功能,以适应严格的工艺环境。
气体供应系统
提供包括惰性气体和特种气体的存储、纯化、混合和稳定输出方案。应用于半导体、光伏和LED制造行业,确保高纯度气体的连续性供应(如氮气、氧气),并集成智能控制技术以监控流量、压力和质量参数,符合Semi标准要求。
高纯度化学品输送系统
该系统专为高纯度化学品如硫酸、氢氟酸等设计,确保在半导体、平板显示和生物医药制造过程中的传输无污染。采用先进材料和结构,支持无尘室环境,用于蚀刻、清洗等关键工艺环节,确保化学品纯度达到ppb级别(十亿分之一)。
员工数量
500-999人
专利数量
274
经营范围
一般项目:普通机械设备安装服务;通用设备制造(不含特种设备制造);专用设备制造(不含许可类专业设备制造);特种设备销售;工业工程设计服务;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);机械设备研发;机械设备销售;机械设备租赁;机械电气设备销售;电子专用材料研发;电子专用材料制造;基础化学原料制造(不含危险化学品等许可类化学品的制造);电子专用材料销售;金属材料销售;气体、液体分离及纯净设备制造;气体、液体分离及纯净设备销售;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;物联网应用服务;信息系统集成服务;智能控制系统集成;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;进出口代理;技术进出口;货物进出口。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:移动式压力容器/气瓶充装;危险化学品经营;特种设备设计;特种设备安装改造修理;建设工程施工。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)
主营业务
为高端制造业(如半导体、光伏和显示面板行业)提供气体和化学品输送设备及相关系统解决方案与服务。
上海正帆科技股份有限公司
股份有限公司(港澳台投资、上市)
¥2.7489亿
2009-10-10
YU DONG LEI
coco.xiao@gentech-online.com
上海市闵行区春永路55号2幢