十大股东
序号
股东名称
持股比例
认缴出资日期
1
国家集成电路产业投资基金股份有限公司
26.4833%
2021-01-08
2
国投（上海）科技成果转化创业投资基金企业（有限合伙）
18.2347%
2021-01-08
3
中微半导体设备（上海）股份有限公司
11.1982%
2021-01-08
4
嘉兴君励投资合伙企业（有限合伙）
7.3921%
2021-01-08
5
青岛润扬嘉禾投资合伙企业（有限合伙）
6.571%
2021-01-08
6
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
3.1626%
2021-01-08
7
沈阳信息产业创业投资有限公司
3.1313%
2021-01-08
8
苏州聚源东方投资基金中心（有限合伙）
1.8977%
2021-01-08
9
华舆国华（青岛）股权投资合伙企业（有限合伙）
1.7095%
2021-01-08
10
宁波浑璞浑金创业投资合伙企业（有限合伙）
1.5813%
2021-01-08
11
盐城经济技术开发区燕舞半导体产业基金（有限合伙）
1.5813%
2021-01-08
12
共青城芯鑫和投资合伙企业（有限合伙）
1.4558%
2021-01-08
13
共青城芯鑫全投资合伙企业（有限合伙）
1.4554%
2021-01-08
14
共青城芯鑫龙投资合伙企业（有限合伙）
1.4552%
2021-01-08
15
共青城芯鑫成投资合伙企业（有限合伙）
1.455%
2021-01-08
16
共青城芯鑫旺投资合伙企业（有限合伙）
1.455%
2021-01-08
17
共青城芯鑫盛投资合伙企业（有限合伙）
1.4545%
2021-01-08
18
共青城芯鑫阳投资合伙企业（有限合伙）
1.4526%
2021-01-08
19
姜谦
1.3012%
2021-01-08
20
沈阳科技风险投资有限公司
1.0438%
2021-01-08
机构股东
序号
名称
1
国科控股
2
兴橙资本
3
中合盛资本
4
临芯投资
5
浑璞投资
6
中微公司
7
中车资本
8
国投创业
9
华芯投资
10
国家集成电路产业投资基金
11
中芯聚源
12
沈阳科投
13
大连港航产业基金
14
信息基金
15
沈阳科仪
A股代码
688072.SH
员工数量
小于50人
专利数量
684
公司简介
拓荆科技座落于沈阳国家级高新技术产业区——浑南新区，是国内唯一能够生产适用于大规模集成电路生产线的PECVD设备供应商，现已形成2-12英寸PECVD设备、12英寸ALD设备、OLED薄膜设备、3D NAND薄膜设备产品系列，广泛应用于集成电路、先进封装TSV、光波导、LED、OLED显示等高端技术领域。隶属于沈阳拓荆科技有限公司。
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，电子专用设备制造，电子专用设备销售，半导体器件专用设备制造，半导体器件专用设备销售，机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，销售代理，非居住房地产租赁（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
拓荆科技股份有限公司
股份有限公司（外商投资、上市）
￥1.8819亿
2010-04-28
刘静
024-24188000
mingyue.guo@piotech.cn
辽宁省沈阳市浑南区水家900号