高精度光刻掩膜版
路维光电的核心产品为高精度光刻掩膜版，这是半导体芯片和平板显示器制造中的关键元件。该产品采用熔融石英或硅基板材料，通过精密电子束或激光直写技术制作高分辨率图案，图案尺寸精度可达微米或亚微米级别，适用于65nm、40nm等先进工艺节点。具体应用包括集成电路（IC）制造中的光刻工艺转移图案，以及平板显示（FPD）领域的液晶面板和OLED制造，产品类型涵盖半色调掩模、二元掩模和相移掩模等，以满足客户定制化需求。
A股代码
688401.SH
专利数量
85
经营范围
集成电路及显示等行业用光掩膜版的技术研发、生产（仅限分公司经营）、销售；光掩膜版材料的研究开发、生产（仅限分公司经营）、销售；电子产品及软件的技术开发、销售；电子设备研究开发、生产（仅限分公司经营）、销售；从事货物、技术进出口业务（不含分销、国家专营专控商品）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）^
主营业务
光刻掩膜版的研发、生产和销售
深圳市路维光电股份有限公司
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
￥1.9333亿
2012-03-26
杜武兵
0755-86019099
cwgral@newwaymask.net
深圳市前海深港合作区南山街道梦海大道5035号前海华润金融中心T5写字楼801