等离子体表面活化技术
该技术采用低温等离子体（如Ar/O2混合气体）对设备表面进行处理，通过等离子体化学反应分解污染层并增强表面亲水性。创新点在于脉冲调制技术优化等离子体能量密度，确保均匀活化而不损伤基材，大幅提升后续清洗效果。
干冰喷射清洗技术
该技术利用压缩空气驱动干冰颗粒以超高速喷射，通过物理冲击去除设备表面的顽固污染物（如硬质残渣和氧化物）。创新点在于非接触式操作，避免化学试剂使用，结合智能压力控制系统实现微米级精度清洗，特别适合敏感表面处理。
高精度化学清洗技术
该技术采用专有的环保型化学溶剂组合，针对半导体设备表面的有机、无机污染物（如光刻胶残留、金属离子和颗粒）进行高效去除。创新点在于优化的多步清洗序列（包括超声波辅助和温度控制），结合闭环过滤系统减少废液产生，实现纳米级清洁度（≤50纳米粒子去除率）。
A股代码
301297.SZ
员工数量
500-999人
专利数量
77
经营范围
电子技术研究服务，材料科学研究服务，新材料技术开发、推广服务，电子工业专用设备制造、销售，电子器件制造、销售，通用设备、通用零部件制造、销售，金属制品修理，通用设备修理，专用设备修理，机械设备专业清洗服务，货物及技术进出口业务，普通货物道路运输，企业管理咨询服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
专注于泛半导体领域（包括半导体和显示面板），为生产厂商提供一站式设备精密洗净服务，核心是为客户生产设备的污染控制提供洗净再生解决方案。
安徽富乐德科技发展股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥3.3839亿
2017-12-26
贺贤汉
0562-5316888
shesk@ftvas.com
安徽省铜陵金桥经济开发区