产品&解决方案
该解决方案利用三维形貌测量和纳米级扫描技术，精确检测半导体器件的关键尺寸（如晶体管宽度和深度），并提供实时分析报告，帮助优化制造参数，确保产品符合设计规范。
该解决方案利用光学校准技术和高精度传感器，测量光刻工艺中不同层之间的对准偏移量（套刻误差），提供实时数据反馈，优化曝光和刻蚀过程，以提高芯片结构的一致性和良率。
该解决方案基于光学成像技术和人工智能算法，专门用于检测半导体晶圆表面的微小缺陷、污染物和图形异常，支持实时监测和数据处理，确保生产过程中产品质量的稳定性。
基于光谱椭偏测量技术的非接触式薄膜厚度与光学参数测量设备，适用于晶圆制造过程中氧化层、氮化硅等薄膜的实时监控。系统可提供亚埃级精度测量，支持多站点自动化检测，确保薄膜沉积工艺的稳定性。
采用电子束技术实现亚纳米级分辨率的晶圆缺陷检测，尤其适用于识别芯片制造关键层（如光刻层）的微小结构缺陷和制程偏差。系统具备非接触式、高灵敏度特点，可覆盖逻辑和存储芯片等多种半导体器件的缺陷侦测需求。
专门针对半导体后道封装工艺的缺陷检测设备，可识别先进封装（如2.5D/3D封装）中的焊接缺陷、内部连接问题及外观不良。通过自动光学检测技术，实现对复杂结构的高分辨率三维缺陷捕捉，保障封装可靠性和良率提升。
用于检测半导体晶圆表面的纳米级缺陷，包括颗粒污染物、微划痕等表面异常。该系统利用高灵敏度光学技术，支持300mm晶圆检测，提供高速、高精度扫描，帮助提高半导体生产良率和质量控制。
A股代码
688361.SH
专利数量
786
公司简介
深圳中科飞测科技股份有限公司是目前国内集成电路和泛半导体高端核心装备领域的领跑者。承担国家一系列科技专项，自主研发快速成长，获得国家支持和产业资本的双重认可，是高科技快增长的硬科技公司；是以海归团队和国内精英的技术和管理人才为核心团队，以工业智能检测装备为核心产品，以提高客户生产效率和质量控制为核心价值的高科技创新企业。
公司创始人陈鲁，毕业于中国科学技术大学少年班，是美国布朗大学物理博士。2014年陈鲁带领研发团队成立中科飞测，成为国内拥有自主研发知识产权，并进入集成电路检测设备市场的领头企业；2016年以陈鲁为团队带头人的创新创业团队入选深圳海外高层次人才创新创业孔雀团队。公司科研团队来自美国耶鲁大学、布朗大学、华盛顿大学、普华永道、华为、西门子等高校名企。目前公司有300多名员工，硕士以上学历140多人。
经营范围
一般经营项目是：研发、设计、销售、上门安装、调试、测试、光电自动化设备、机电自动化设备、光电仪器、光电设备、电子产品、机械产品、计算机及软件、工业自动控制系统、图像及数据处理系统，并提供上述商品的售后维护；并提供相关技术咨询、技术维护、技术转让：从事货物及技术的进出口业务；自有物业租赁。（法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的项目须取得许可后方可经营），许可经营项目是：自动化设备及仪器、电子产品和机械产品的加工和配件制造。
主营业务
研发、生产及销售集成电路和泛半导体高端核心检测装备，提供工业智能检测解决方案
深圳中科飞测科技股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥3.2亿
2014-12-31
陈鲁
0755-22670712
pangliying@skyverse.cn
深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号101、102