半导体设备智能监控平台
基于工业物联网的装备健康管理系统，通过多传感器数据融合（温度、振动、真空度等）实现设备预测性维护，集成SECS/GEM协议支持晶圆厂自动化集成，提供工艺稳定性分析和良率提升方案。
晶圆级等离子体刻蚀系统
面向宽禁带半导体器件的干法刻蚀解决方案，采用ICP（电感耦合等离子体）和RIE（反应离子刻蚀）双模式技术，实现SiC/GaN材料的高深宽比刻蚀与侧壁形貌控制，支持在线工艺监测和自动配方管理。
SiC/GaN外延生长设备
为第三代半导体材料（碳化硅SiC和氮化镓GaN）提供高性能的外延生长设备，采用高温化学气相沉积（HT-CVD）技术，支持6-8英寸晶圆量产工艺，满足高均匀性、低缺陷率的材料生长需求。
科创行业
融资次数
1
主营业务
专注于研发、生产和销售宽禁带半导体先进制程设备的综合性科技企业
一塔半导体（安徽）有限公司
其他有限责任公司
￥613万
2024-02-05
王涛
安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室