产品&解决方案
该系统在真空环境中利用微波激发等离子体进行薄膜沉积，应用于镀膜工艺。创新点整合微波高密度能量激发与真空环境控制，确保薄膜均匀性和高质量沉积，有效处理复杂形状工件。
该技术通过微波能量与高速气射流结合，形成定向等离子体射流，用于精确表面改性和蚀刻。创新点在于射流导向控制，实现局部处理和快速响应，解决工业规模下的均匀性问题。
该系统利用微波能量激发无电极的气体等离子体产生高强度紫外光，用于半导体制造中的光化学处理。创新点在于消除传统电极结构，避免污染和腐蚀，提供稳定、高效的光输出，适用于严苛工业环境。
针对半导体制造中的镀膜需求，该子系统提供等离子体支持，用于解决清洗和蚀刻等工艺挑战，并提高涂层质量。
结合微波真空技术，该系统在半导体清洗和蚀刻环节中应用，以优化沉积工艺和提升材料处理能力。
利用微波等离子体技术，用于半导体清洗和蚀刻等关键工艺流程，专注于提供高效、可靠的工业解决方案。
该系统基于微波能量技术，应用于半导体制造工艺中的清洗和蚀刻环节，旨在提升工业效率和解决技术难题。
该子系统结合微波等离子体技术实现真空环境下的沉积和镀膜过程，服务于薄膜和涂层制造。应用在半导体镀膜、光学薄膜及功能涂层领域，通过稳定控制微波能量输入解决沉积速率慢、膜层质量不均等工艺难题，提高生产一致性和产品性能。
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融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
19
公司简介
成都奋羽电子科技有限公司是一家从事微波能量应用方案设计及设备开发的高新技术企业。专注于中、大功率工业微波等离子体系统研发制造。成果和产品已覆盖微波无极紫外光源系统、微波射流等离子体系统、微波真空沉积、镀膜系统等离子体子系统，可有效解决半导体清洗和蚀刻等环节的工艺难题。
经营范围
一般项目：电子专用材料研发；电子专用材料销售；电子专用设备销售；电子专用设备制造【分支机构经营】；电子专用材料制造【分支机构经营】；半导体器件专用设备销售；半导体器件专用设备制造【分支机构经营】；电子元器件与机电组件设备销售；电子元器件与机电组件设备制造【分支机构经营】；工业自动控制系统装置销售；工业自动控制系统装置制造【分支机构经营】；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）【分支机构经营】；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；办公设备销售；通讯设备销售；五金产品批发；五金产品零售；仪器仪表销售；信息系统集成服务；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；普通机械设备安装服务；机械设备租赁；机械零件、零部件加工【分支机构经营】；机械零件、零部件销售；金属加工机械制造【分支机构经营】（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。
主营业务
中、大功率工业微波等离子体系统研发制造
成都奋羽电子科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥500万
2020-07-24
吉皓
028-62093780
md@free-e.com.cn
成都高新区天勤路277号4栋8-1号