高纯蚀刻液技术
该技术涵盖氢氟酸基和磷酸基蚀刻液体系,用于晶圆清洗和蚀刻工艺。核心创新点在于采用多层离子交换和蒸馏纯化工艺,实现超高纯度(杂质含量控制在ppt级别),确保精确控制蚀刻速率和均匀性。同时,开发了实时在线监测系统,提高化学稳定性,满足不同材质(如硅、金属、氧化物)的蚀刻需求,有效替代进口产品。
高纯光刻胶技术
该技术专注于开发用于半导体光刻工艺的关键材料,尤其是针对KrF和ArF波长(248nm和193nm)的高分辨率光刻胶。基于先进树脂合成和配方优化,创新点在于通过分子结构设计提高光敏性和化学稳定性,减少线宽粗糙度(LWR)和缺陷密度,实现低至28nm及更先进工艺节点的光刻性能。结合国产化原料,解决了高纯度控制(如金属杂质低于ppb级别)和批次一致性难题。
员工数量
小于50人
专利数量
28
经营范围
一般项目:电子专用材料销售;电子专用材料制造;电子专用材料研发;新材料技术研发;新材料技术推广服务;有色金属压延加工;有色金属铸造;有色金属合金制造;有色金属合金销售;高性能有色金属及合金材料销售;金属材料制造;常用有色金属冶炼;新型金属功能材料销售;贵金属冶炼;金属链条及其他金属制品销售;金属链条及其他金属制品制造。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
高端电子材料的研发、制造和销售,致力于解决我国在高端电子材料领域的技术瓶颈,实现进口替代
四川华赐科技有限公司
有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资)
2021-04-09
王更生
四川省眉山市仁寿县文林工业园区A区