九奕半导体
半导体生产设备供应商
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部件清洗服务
专业清洗半导体制造设备的各种部件(如腔室、卡盘、喷嘴等),采用定制化清洗方案(如超声波清洗、化学浸泡和等离子清洗),去除污染物(微粒、有机残留、金属离子),确保部件在组装或翻新后达到无尘和低颗粒标准。
CANON光刻机技术支持服务
针对佳能(Canon)品牌的光刻设备,提供全方位的技术服务,包括安装调试、日常维护、校准、软件升级、故障诊断和备件更换。服务涵盖光刻机的光学系统、机械组件和控制系统的优化,确保设备稳定运行和光刻精度。
SIC研磨代工服务
提供碳化硅(SIC)晶圆的专业研磨加工服务,包括晶圆的减薄、抛光、边缘修整和表面粗糙度控制。服务采用高精度研磨设备,确保晶圆厚度公差(如±0.5微米)和低表面缺陷,满足射频、功率半导体等器件的严苛要求。
UV解胶机
专门用于半导体光刻工艺中的解胶设备,通过高强度紫外线(UV)照射软化或去除光刻胶残留,解决晶圆在曝光或蚀刻后的粘连问题。设备提供可调节的光强和照射时间,确保高效解胶而不损伤基板。
全新EPI设备
全新的外延(EPI)设备,用于在半导体基板上生长高质量单晶薄膜层(如硅外延或SiC外延)。设备采用化学气相沉积(CVD)或类似技术,支持多种气体输入和温度控制,以实现薄膜厚度和质量的精确调控,适用于功率器件或高级逻辑器件制造。
8"全新扩散炉
全新的扩散炉设备,专门针对8英寸晶圆制造需求,用于实现高温扩散工艺(如杂质掺杂和热处理)。设备支持精确的温度控制、气流调节和气氛管理,确保晶圆的均匀掺杂和电子特性优化。
8"/12"全新全自动定制湿法清洗机
全新的全自动湿法清洗设备,专为8英寸和12英寸晶圆定制设计,用于去除晶圆表面的微粒、金属离子、有机污染物和氧化物残留。采用模块化设计,可依据客户特定工艺需求定制参数(如清洗液配方、温度和浸泡时间),适用于晶圆制造中的预清洗和后清洗步骤。
半导体8"/12"中古设备翻新与服务
提供二手半导体生产设备的销售、整条生产线的转移、设备翻新(包括彻底维护、部件更换和性能升级)以及安装调试服务。支持8英寸和12英寸晶圆尺寸的设备和生产线,主要用于前道制造流程。
科创行业
员工数量
-
专利数量
5
经营范围
一般项目:半导体器件专用设备、计算机软硬件、机械设备、机电设备、通信设备及零部件的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务;从事半导体科技领域内的技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让;专业设计服务。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
九奕半导体专注于提供半导体8英寸和12英寸前道生产设备及技术服务,主要业务包括中古设备销售与整线转移、设备翻新及安装调试、全新定制湿法清洗机、全新扩散炉、全新EPI设备、UV解胶机、SIC研磨代工、光刻机技术支持和部件清洗。
公司全称
九奕半导体设备(上海)有限公司
公司类型
有限责任公司(外商投资、非独资)
成立时间
2021-08-04
法定代表人
邵玉成
地址
上海市浦东新区叠桥路456弄126号一层