自动化无污染破碎技术
该技术结合自动化控制系统和无尘环境设计,实现粉体破碎过程的全程闭环处理。创新点在于采用机械和气流联合破碎机制,避免金属污染和碳污染,显著降低游离碳含量并提升阿尔法碳化硅(α-SiC)晶体结构完整性。技术核心是全程监控和过滤系统,确保粉体符合8英寸厚单晶生长要求。
粉体合成炉技术
该技术采用国际先进的碳化硅粉体合成炉,通过优化炉体设计和温控系统实现高效能合成。创新点包括高温高压条件下的气相沉积法优化,确保连续稳定生产,降低能耗和杂质引入,同时支持大颗粒度粉体合成。技术关键在于单炉产能提升,减少了批量生产中的变异性。