智能磁场控制技术
基于多极磁棒阵列的闭环调控系统，通过实时监测等离子体状态动态调整磁场强度与形态，突破传统固定磁场局限，显著提升复杂基材的台阶覆盖率。
高稳定性旋转阴极技术
采用特殊轴承密封和冷却结构，解决高速旋转下的热变形和密封失效问题。结合动态平衡技术，确保阴极在高温高压环境下长期稳定运行，适用于连续生产场景。
磁控溅射阴极技术
专注于高性能磁控溅射阴极的结构设计与材料优化，包括旋转阴极和平面阴极系统。通过创新的磁场分布设计和靶材冷却机制，实现高功率稳定溅射，提高镀膜均匀性及靶材利用率。
融资次数
1
员工数量
50-99人
专利数量
9
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械电气设备制造；机械电气设备销售；计算机软硬件及外围设备制造；软件开发；货物进出口；技术进出口；进出口代理（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）
主营业务
中科纳微的主营业务是真空核心组件的研发与生产以及真空系统的设计与生产，专注于为HJT、LOW-E、TCO、触摸屏、集成电路和锂电池等高科技行业的龙头客户提供真空技术解决方案。
中科纳微真空科技（合肥）有限公司
其他有限责任公司
2022-05-17
姚慧
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安徽省合肥市高新区习友路1799号4幢1层和2层