湿法清洗设备 (Wet Bench)
采用多槽分级清洗架构，融合兆声波（如2MHz高频聚焦）、旋转喷淋、Marangoni干燥等技术。创新在于槽体动态液位控制、多工艺配方集成调度系统（SECS/GEM）、以及废气/废液零排放处理单元，适用于复杂结构晶圆的全自动清洗。
高纯化学品混配与纯化系统
集成在线浓度监测（如FTIR/NIR实时分析）、多级精密过滤（0.1µm以下PTFE滤芯）、亚沸蒸馏或离子交换技术的连续处理系统。创新点在于无死体积管道设计、AI算法动态优化混配比例、颗粒计数器在线监测粒子浓度，实现电子级化学品（SEMI C12及以上）的现场提纯与定制化混配。
化学品自动输送系统 (CDS)
设计用于在半导体、光伏等洁净环境中精确输送高纯度化学品的自动化系统。核心在于密闭回路设计、材质兼容性（如高纯PVDF、PFA、SS316L EP管）、精准流量控制及异常监测机制，确保化学品在输送过程中维持超高纯度（ppt级金属离子控制）并防止交叉污染。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
27
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子元器件与机电组件设备销售；电子元器件制造；电子专用设备制造；电子专用设备销售；通讯设备销售；机械设备销售；普通机械设备安装服务；半导体器件专用设备销售；半导体器件专用设备制造；仪器仪表制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；智能控制系统集成；软件开发；信息系统集成服务；计算机系统服务；计算器设备制造；计算器设备销售；计算机软硬件及辅助设备零售；计算机及办公设备维修；通用设备修理；专用设备修理；仪器仪表修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 许可项目：特种设备安装改造修理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
主营业务
提供高纯化学品提纯、分装、输送系统解决方案
合肥孚烜自动化科技有限公司
其他有限责任公司
￥1,141万
2016-08-23
赵国飞
13661662440
jack.zhao@fuxuan-tech.com
安徽省合肥市经济技术开发区新桥科创示范区街硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼106-1室