MEMS气压传感器技术
基于硅基微机电系统制造的压力传感器技术,利用电容感测机制进行精准气压测量。创新点在于优化的薄膜结构和片上温度补偿算法,确保在动态环境下稳定输出,并通过低噪声电路设计提升微气压变化检测精度,特别适合移动终端高精度需求。
非制冷红外探测器技术
采用微机电系统(MEMS)制造的微测辐射热计阵列技术,基于氧化钒(VOx)等敏感材料实现红外辐射检测。创新点在于CMOS兼容工艺和高集成度设计,支持小尺寸传感器在消费电子设备中集成,并通过先进的信号处理算法提升低信噪比环境下的热成像性能。