低温等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统
专为二维材料、石墨烯和碳基材料的低温生长设计。系统采用等离子体源技术，降低生长温度（可在200°C以下工作），减少材料损伤。集成射频功率控制、气氛压力调节和在线厚度监测传感器，适用于柔性电子和传感器领域的研究应用。
金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备
此设备针对第三代半导体材料（如氮化镓GaN和碳化硅SiC）研发和生产。配备多反应室设计、气体精确输送系统（包括MO源和载气管理）、自动晶片装载功能，支持大面积外延生长。系统包含温度均匀性优化算法和缺陷检测模块，可用于功率电子和光电子器件的大规模制造。
高温化学气相沉积(CVD)系统
该系统专为生长高质量石墨烯、二硫化钼(TMDs)和碳纳米管等先进材料设计。设备提供精确的温度控制（范围可达1000°C以上）、均匀的热场分布、多气氛调控模块，以及实时原位监测功能，确保材料生长的一致性和可重复性。适用于实验室研发和小规模生产。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
58
经营范围
一般经营项目是：电子设备的技术服务、技术转让、技术咨询；电子机械设备的销售；计算机和控制系统的软硬件开发和销售；货物及技术进出口。半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子产品销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品销售；机械设备研发；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：半导体产品、电子仪器、电子设备的研发、生产及销售。
主营业务
研发、生产和销售用于第三代半导体、二维材料及纳米碳材料的先进化学气相沉积(CVD)与金属有机化学气相沉积(MOCVD)装备
深圳市纳设智能装备股份有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥1.218亿
2018-10-29
陈炳安
0755-23243345
contact@naso-tech.com
深圳市光明区凤凰街道凤凰社区观光路招商局光明科技园A6栋1B