电子束检测（EBI）技术
利用低电压电子束扫描技术，结合电子光学系统和信号处理算法，对半导体器件进行高分辨率表面和亚表面缺陷分析。创新点包括可变能量电子束控制和人工智能辅助缺陷分类，适用于先进工艺节点的微观缺陷诊断。
半导体自动光学检测（AOI）技术
基于高分辨率光学成像系统与深度神经网络算法，实现半导体晶圆表面的实时缺陷检测。创新点包括自适应光学扫描机制和高通量图像分析，能自动识别亚微米级粒子、划痕和图案异常，提高检测效率。
融资次数
1
经营范围
一般经营项目是：集成电路销售；集成电路制造；半导体器件专用设备制造；显示器件销售；显示器件制造；电子专用设备制造；电子元器件与机电组件设备制造；光伏设备及元器件制造；绘图、计算及测量仪器制造；电子测量仪器制造；电子专用材料制造；新能源原动设备制造；普通机械设备安装服务；计算机软硬件及外围设备制造；工业控制计算机及系统制造；实验分析仪器制造。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：技术进出口；货物进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
主营业务
半导体器件专用设备制造和电子专用材料制造
深圳精积微半导体技术有限公司
有限责任公司
￥3亿
2023-03-02
彭骞
021-31616688
zhu.na@pmish-tech.com
深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝龙三路16号宝龙专精特新产业园3栋101