深硅刻蚀机
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产品详情
专为高深宽比结构设计，结合反应离子刻蚀（RIE）技术，实现硅基材料的精确深沟槽刻蚀，适用于3D NAND闪存、微机电系统（MEMS）和光电器件制造。提供高刻蚀速率、低侧壁损伤和优异的剖面控制。
融资次数
9
员工数量
100-499人
专利数量
378
公司简介
江苏鲁汶仪器有限公司是由比利时鲁汶仪器、中科院微电子研究所等共同注资成立。公司总部位于江苏省邳州市，在比利时设有研发中心及销售部，在北京和俄罗斯设有销售部。公司秉承“以创新为主导，客户信赖为第一”的宗旨，倡导精益求精的工匠精神，为客户提供性能卓越的半导体研发、生产、材料检测等精密设备及配套技术服务。
经营范围
精密仪器、电工机械专用设备、电子工业专用设备、光学仪器、变压器、整流器和电感器、电容器及其配套设备、配电开关控制设备、电力电子元器件、光伏设备及元器件、信息化学品、集成电路、数模集成电路、混合集成电路、无源集成元件、通用和专用仪器仪表研发、设计、制造，服务及销售；仪表仪器修理；软件开发；信息技术咨询服务；专利服务；国际、国内贸易代理服务；质检技术服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体精密设备研发、生产和销售，以及配套技术服务
江苏鲁汶仪器股份有限公司
股份有限公司（外商投资、未上市）
￥1.4918亿
2015-09-11
许开东
jinzhi.liu@leuven-instruments.com
邳州经济开发区辽河西路8号