蓝宝石衬底表面处理与缺陷控制技术
该技术采用化学机械抛光（CMP）和湿法蚀刻工艺，对蓝宝石衬底进行表面平坦化和缺陷修复，确保低表面粗糙度（Ra<0.5nm）和高晶体完整性。创新点包括原位监测和闭环反馈系统，实时调整蚀刻参数以消除划痕和颗粒污染，同时通过专有的清洗工艺减少金属污染（如Fe、Al杂质），提升衬底的绝缘性能和界面质量，为后续外延生长提供稳定基础。
纳米级图形化蓝宝石衬底（PSS）制造技术
该技术通过先进的纳米刻蚀工艺（如反应离子刻蚀RIE）和光刻技术，在蓝宝石衬底表面创建精确的周期性微结构（如锥形或阵列图案），优化光散射机制以提高LED的光提取效率达30%-40%。创新点包括高精度光刻掩模设计、自动化蚀刻控制技术，以及匹配不同MOCVD（金属有机化学气相沉积）工艺的参数优化，确保衬底表面均匀性和图案一致性，从而显著降低LED的电流泄露和光损失。
融资次数
1
员工数量
500-999人
专利数量
109
经营范围
一般项目：电子专用材料研发；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子元器件制造；电子元器件零售；电子元器件批发；光电子器件制造；光电子器件销售；新材料技术研发；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；机械零件、零部件销售；以自有资金从事投资活动；企业管理咨询；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
图形化蓝宝石衬底（PSS）的研发与生产
广东中图半导体科技股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥4.1228亿
2013-12-31
康凯
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东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号