良率管理与数据分析平台
提供整合检测、量测及制程数据的数据分析与良率管理系统。通过大数据分析找出影响良率的关键因素，实现预测性维护和制程优化。
计算光刻产品（HPO™）
提供包含光学邻近效应修正（OPC）、光源掩模协同优化（SMO）在内的全套高性能计算光刻（High Performance OPC, HPO™）软件解决方案。用于优化光刻成像，提高分辨率与工艺窗口。
关键尺寸量测设备（CD-SEM）
提供高精度关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）设备。用于精确测量晶圆上图形结构的线宽、接触孔尺寸等关键参数，确保工艺符合设计要求。
电子束缺陷检测设备（EBI）
提供用于先进制程（如28nm及以下）的高精度晶圆缺陷检测设备。利用电子束扫描技术快速识别晶圆表面的纳米级缺陷，如颗粒污染、图形缺陷等。
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
92
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；电子产品销售；半导体器件专用设备制造；软件开发；软件销售；计算机软硬件及辅助设备批发；通讯设备销售；半导体器件专用设备销售；电力电子元器件制造；电力电子元器件销售；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
半导体器件的研发、生产和销售
东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥3.6402亿
2014-02-18
俞宗强
010-80823200
yohannalee@163.com
北京市北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼