等离子体辅助纳米材料合成设备
提供利用微波等离子体高温、高活性环境合成高纯度纳米材料(如纳米金刚石粉体、纳米碳管、特定功能粉体等)的设备和技术方案。等离子体反应器提供高温、富含活性粒子(离子、自由基)的环境,促使前驱体气体快速反应合成目标纳米材料。
微波等离子体刻蚀与清洗系统
提供用于半导体、微电子制造、材料表面处理等领域的微波等离子体刻蚀设备和清洗设备解决方案。系统利用微波源激发产生高密度等离子体,通过物理轰击和化学反应去除表面污染层或进行选择性刻蚀。
微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜设备与工艺
提供基于微波等离子体(如MPCVD)技术的金刚石薄膜沉积全套解决方案,包括核心设备、工艺包及技术支持。设备在高真空腔体中利用微波能量激发等离子体,使含碳气体(如甲烷/氢气)离解并在基体表面沉积高质量金刚石膜。
融资次数
4
员工数量
-
专利数量
40
经营范围
一般经营项目是:等离子体应用技术开发、技术服务与信息咨询;射频、微波等应用技术和设备的开发和销售;国内贸易;经营进出口业务(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);投资兴办实业(具体项目另行申报)。新材料技术研发;非金属矿物制品制造;非金属矿及制品销售。电子专用材料研发;电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子专用设备制造;电子专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;专用设备修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:等离子体设备及其相关设备、电子产品、组件及产品、计算机硬件、软件的设计研发、生产与销售;电子、机械设备维护(不含特种设备)。
主营业务
专注于微波等离子体应用技术的研发和设备的制造,致力于技术产业化。
深圳优普莱等离子体技术有限公司
有限责任公司
¥1,028万
2016-08-30
QUAN FENG
13925767205
zhangzy@uniplasma.com
深圳市光明区光明街道东周社区双明大道315号易方大厦1308