产品&解决方案
采用先进的机器视觉和图像分析算法，自动识别、分类和报告晶圆表面缺陷（如颗粒、划痕和污染）。系统集成了光学照明和高分辨率摄像头，确保全面覆盖。
基于光学干涉技术，精确测量半导体晶圆上各种材料的薄膜厚度。系统利用光谱分析和高精度传感器，提供实时厚度数据，支持在线工艺控制。
该系统专为半导体晶圆缺陷检测设计，包括表面微粒、划痕、残留物等缺陷的识别。利用高分辨率光学成像和智能图像处理算法，实现高速扫描和自动缺陷分类，适用于300mm晶圆生产环境。该系统提供高灵敏度和高检出率，帮助制造商优化工艺、减少废品率，并符合行业标准（如SEMI）。
TFI系列是睿励科学仪器的核心产品之一，主要用于半导体制造中测量晶圆上的薄膜厚度、折射率和吸收系数。该系统采用先进的光学光谱技术（如光谱反射法），提供纳米级高精度测量，支持多种材料层和工艺节点（如7nm/5nm），并具备快速在线监测功能，适用于逻辑、存储和先进封装领域，确保生产过程中的参数控制和良率提升。
融资次数
11
员工数量
100-499人
专利数量
213
公司简介
睿励科学仪器（上海）有限公司成立于2005年06月27日，主要经营范围为研制、生产半导体设备，销售自产产品，提供相关的技术服务等。
经营范围
研制、生产半导体设备，销售自产产品，提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
专注于半导体工艺控制设备的研发、生产与销售，并提供全方位技术支持和售后服务。
睿励科学仪器（上海）有限公司
有限责任公司(外商投资、非独资)
￥6.3264亿
2005-06-27
FENG YANG（杨峰）
021-61940618
zhanglujie@rsicsh.com
中国（上海）自由贸易试验区华佗路68号6幢