产品&解决方案
为光伏硅片、电池片及组件生产线上的关键设备提供专业洗净服务。重点解决扩散炉石英管、PECVD石墨舟、夹具、传送滚轮、载板等在高温高负荷运行下积累的磷硅玻璃、氮化硅、无定形硅、粉尘以及掺杂剂残留等顽固污染物问题。通过优化的化学浸泡、超声、喷淋等组合工艺,实现高效、彻底的清洁,恢复设备热场均匀性、确保工艺稳定性和电池片效率。
服务于平板显示面板(LCD/OLED)制造行业,专注于清洗阵列制造、彩膜制造、成盒及模组环节中易受污染的设备和治具。通过定制化配方和处理流程,有效去除玻璃基板在涂布、曝光、显影、蚀刻等工序中残留在设备部件(如曝光机台部件、显影滚轮、喷头、载具、接地环等)上的光阻、PI、刻蚀残留物、金属污染物及微粒,保障面板制造良率与设备稳定性。
针对半导体生产过程中使用的关键设备部件(如晶圆传输机械手臂、静电吸盘、工艺腔室组件、阀门、管路等)进行深度清洁。采用高纯度化学药剂、纯水及精密清洗工艺,去除制程中沉积的聚合物、金属离子、颗粒、有机物等污染物。后续进行严格的洗净度检测(如颗粒计数、离子残留分析、表面能测试等),确保洗净部件符合半导体制造工艺对洁净度的严苛要求,恢复其性能并延长使用寿命。
光罩(Reticle)清洗服务专门用于半导体和显示行业的光掩模板维护。通过精密设备去除光罩表面的微粒、污染物(如有机物分子),使用先进的激光清洗和化学湿法工艺进行无损伤处理。服务包括清洗后的关键尺寸测量(CD metrology)和缺陷检测(如DDB检查),确保光罩质量达到SEMI P37标准,延长使用寿命并保障光刻精度。
服务于光伏产业的硅片生产、电池片制造和组件组装设备,包括扩散炉、丝印机和层压设备。清洗过程针对硅粉尘、浆料残留和氧化层等污染源,使用环保清洗剂(如无氟清洗溶液)和物理清洗技术(如高压水射流)。再生处理包括设备修复和涂层保护,确保设备运行效率提升和长期稳定性。服务符合绿色生产标准,支持光伏产业降本增效。
针对LCD/OLED平板显示产业的生产设备提供专业清洗服务,包括溅射设备、蒸镀设备和光刻设备。服务专注于移除面板制程中产生的粉尘、残留物(如ITO膜)和化学污染物。采用定制化清洗方案(如湿法酸洗和有机溶剂清洗),结合自动化技术进行设备部件清洗、再生和性能验证,确保设备清洁度达到ISO Class 3级别,提高面板生产效率和良品率。
FOUP(Front Opening Unified Pod)清洗服务是专门用于晶圆运输载具的精密洁净处理。服务内容包括拆卸载具组件、去除微粒污染物和化学残留(如光刻胶、腐蚀剂),通过自动化清洗线(涉及高压喷淋、超声波清洗和干燥)进行深度清洁。再生处理后,进行严格质量检测(包括颗粒物检测、泄漏测试和分子污染控制),使FOUP恢复至SEMI标准(如SEMI S2和S8),确保其在晶圆厂中的安全运输和无污染操作。
该服务针对半导体制造过程中的设备提供高精度清洗,包括蚀刻机、PVD、CVD等设备的腔体、配件和管道系统。使用先进的湿法和干法清洗技术(如等离子清洗、超纯水清洗),移除微粒污染、有机残留物和金属杂质,确保设备清洁度达到Class 1标准,延长设备寿命并提高晶圆良率。服务流程包括现场拆卸、清洗、检测(如粒子计数测试)和再生处理,支持多种半导体材料(如硅基、铜)。
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融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
85
公司简介
仕上电子是一家仪器精密洗净服务商,主要业务是精密洗净,主要为半导体,平板显示及光伏产业的制程设备提供精密洗净及再生处理服务。
经营范围
一般经营项目是:生产经营与硬盘、半导体、液晶屏(TFT)等电子产品生产配套设备,及提供上述产品的维修、维护、清洗及技术服务;五金制品、塑胶制品的研发与销售。(法律、行政法规、国务院决定规定在登记前须经批准的项目除外),许可经营项目是:
主营业务
为半导体、平板显示及光伏产业的制程设备提供精密洗净及再生处理服务,涵盖污染物清除、设备清洁维护与性能再生等核心环节,确保客户生产效率和产品质量。
深圳仕上电子科技股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
¥3,000万
2008-06-18
水群林
13670292494
xia.li@shiage.net.cn
深圳市宝安区福海街道新和社区晖信工业园B栋厂房1层2层、4层,C栋厂房1层