石英窗体
石英窗体是一种透明板状或视窗结构石英部件，在半导体光刻或检测设备中作为光学窗口使用。它允许光线、激光或电子束穿透以进行图案曝光或检测，同时保持腔室密封。特性包括高透光率（尤其在紫外波段）、优异的热稳定性（在高功率激光或高温环境下保持光学性能不变形）、低膨胀系数（避免热应力裂纹），以及抗辐射性能。在应用中，石英窗体确保精密的制程控制和高分辨率图像质量，适用于高端制造环境。
石英环
石英环是一种环形或环状密封组件，在半导体加工设备（如等离子体刻蚀机或CVD反应腔）中用作隔绝、支撑或密封部件。其主要功能包括在高温或等离子体环境中提供热绝缘、防止气体泄漏或颗粒迁移，并保护内部敏感元件。特性包括优异的热稳定性能（耐高达1000°C）、高机械强度（承受高压和振动）、以及低出气率（在真空系统中减少杂质释放）。在制程中，石英环确保腔室完整性，延长设备使用寿命。
石英槽
石英槽是一种容器状石英器件，用于半导体湿法清洗或刻蚀设备的液体处理单元。它通常作为化学药液（如硫酸、氢氟酸）的盛放容器，具有高纯度特点（杂质含量少于ppm级），以避免引入金属离子或颗粒污染晶圆表面。其设计注重耐腐蚀性（抗强酸、强碱环境）、低膨胀系数（温度变化下尺寸稳定），以及易清洗表面。在应用中，石英槽确保在湿法处理过程中保持溶液纯度和工艺一致性。
石英舟
石英舟是一种托盘或支架状的石英承载器，专门设计用于半导体制造中的晶圆传输和热处理。其主要作用是放置晶圆片在炉管中进行高温工艺（如掺杂、退火和氧化），提供结构支撑以确保晶圆不会变形或污染。特性包括高几何精度（保证晶圆间距稳定）、耐热冲击性（快速升温/降温后不裂纹）、表面光滑度低（减少颗粒生成）。在生产线中，石英舟通常配合自动化设备使用，提升处理效率和良品率。
石英管
石英管是一种高纯度熔融石英制成的管状器件，广泛应用于半导体加工设备中，主要用于扩散、氧化、退火等高温工艺环境。其特性包括优异的热稳定性（可承受高达1200°C的温度）、极低的杂质含量（以避免污染晶圆）、良好的化学惰性（抵抗酸、碱等腐蚀），以及高机械强度，确保在真空或高压条件下可靠运行。在应用中，石英管常作为反应腔或加热管的衬里，支撑晶圆热处理过程，保证工艺均匀性和产品质量。
融资次数
2
员工数量
100-499人
专利数量
42
经营范围
石英材料和制品、硅材料和制品、陶瓷材料和制品、金属制品的研发、制造和销售；自营和代理货物的进出口，但国家限定经营或禁止进出口的货物和技术除外以及其他法律、法规、国务院决定等规定未禁止或无需经营许可的项目和未列入地方产业发展负面清单的项目。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体专用石英器件的研发、生产与销售