离子注入技术
该技术利用高能离子束注入半导体晶圆，以改变材料的电学特性，实现精确的掺杂控制。创新点包括集成智能束流光学系统，提供超高稳定束流密度（偏差小于1%），并采用闭环实时反馈机制，可在7nm以下先进工艺节点下运行，显著降低粒子污染和漏电流。关键创新在于结合了多能量模式调节功能，适应复杂工艺需求，支持国产高端半导体设备自主化。
融资次数
4
员工数量
100-499人
专利数量
178
经营范围
集成电路设备、太阳能电池生产设备研发设计；软件的开发、设计、制作；集成电路设备、太阳能电池生产设备的生产；销售自产产品，系统集成，并提供相关的技术咨询和技术服务；机械设备及配件、电气设备、电器产品、金属材料及制品（钢材、贵金属、稀有金属除外）、机电产品、建材（钢材、水泥除外）、五金的批发和进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
开发与制造高端离子注入系统，覆盖集成电路芯片制造和高效太阳能电池生产两大核心领域
上海凯世通半导体股份有限公司
股份有限公司(港澳台投资、未上市)
￥9,991万
2009-04-16
李勇军
021-50808128
info@kingstonesemi.com
中国（上海）自由贸易试验区碧波路572弄115号7幢1-6层