产品&解决方案
电子级三氟化氮（Electronic Grade Nitrogen Trifluoride, NF3）是一种高纯度气体化合物，由氮和氟元素组成，常温下为无色、无味、不易燃的窒息性气体。其主要应用于半导体制造、平板显示器和太阳能电池板产业中的干法蚀刻和腔体清洗过程。作为蚀刻剂，它通过等离子体反应去除硅晶圆或玻璃基板上的二氧化硅、氮化硅等材料，形成微细电路图案；作为清洗气体，它能高效清除化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）设备腔体内的残留沉积物和杂质，防止颗粒污染。产品的纯度通常达到99.999%以上（即5N级），具有低金属杂质含量（如铜、铁等低于ppb级）、低湿度和低颗粒特性，以满足电子工业的严格标准，确保制造过程中的良率和设备使用寿命。电子级三氟化氮因其环保特性和高效率，已逐渐取代其他含氟气体（如全氟化碳），并在先进技术节点中广泛应用。
融资次数
1
员工数量
100-499人
专利数量
4
公司简介
洛阳黎明大成氟化工有限公司成立于2015年4月29日，由中方黎明化工研究设计院有限责任公司和外方韩国大成气体株式会社共同出资建设，主要经营范围为电子级三氟化氮的生产、销售及相关产品的进出口。
经营范围
电子级三氟化氮的生产、充装、销售及相关产品的进出口；氢氟酸的生产及销售。
主营业务
主营业务为电子级三氟化氮的生产、销售及相关产品的进出口，专注于服务全球电子行业的特种气体需求。
洛阳昊华气体科技有限公司
有限责任公司（非自然人投资或控股的法人独资）
￥1.3709亿
2015-04-29
姚庆伦
18595473021
wangxinli5@sinochem.com
河南省洛阳市吉利区道南路12号