产品&解决方案
该技术结合高效臭氧溶解与纯化模块，生成高浓度臭氧水溶液，创新点在于混合腔体优化设计增强臭氧溶解度（可达40ppm以上）、在线水质监测系统实时调整参数、以及抗腐蚀材料选择延长寿命。系统通过ISO9001和CE认证，支持一键启动和无残留操作，满足高洁净度应用需求。
晶拓半导体采用先进的电晕放电技术生成99.99%以上纯度的臭氧气体，创新点包括高效电极设计实现低能耗与高输出稳定性、精确温控系统防止臭氧分解、以及集成式实时浓度监控与反馈机制确保一致性。该系统通过SEMI S2认证，适用于严格的无尘环境，实现了高可靠性和长期连续运行能力。
为三安光电厦门基地提供整套臭氧解决方案，涵盖MOCVD腔体清洁和光刻胶去除环节。自主研发的臭氧水发生器集成超滤系统，TOC含量＜2ppb，颗粒控制≤5个/毫升（0.05μm）。项目部署32套单元设备，通过集中控制平台实现全厂区臭氧供应，使单条GaN生产线化学品消耗降低40万美元/年。
在华虹半导体（无锡）12英寸晶圆厂项目中，晶拓提供半导体级臭氧水系统。该系统采用耐腐蚀钛合金管路和闭环浓度监测，实现超纯水溶解臭氧浓度稳定在±0.05ppm。用于90-28nm制程的前道清洗工序，成功通过2000小时连续生产验证，MTBA（平均故障间隔）达8000小时，成为国内首家通过半导体级工艺认证的臭氧设备供应商。
晶拓半导体为天合光能提供高纯度臭氧系统解决方案，应用于其光伏电池生产线。通过定制开发的臭氧气体发生与浓度控制系统，成功替代原有进口设备，在制绒清洗环节实现0.5%浓度稳定控制，降低能耗15%，产线良率提升至98.6%。系统通过SEMI S2认证，满足晶硅片处理的无金属离子污染要求。
为全球光伏电池生产企业提供臭氧设备和服务，应用于太阳能电池的制造流程，助力生产线的效率提升。
研发并交付臭氧系统解决方案，用于平板显示面板的生产，包括蚀刻、表面清洁和制造过程中的关键应用。
为LED芯片生产线设计和供应臭氧系统设备，支持LED制造的特定需求，确保高效和可靠的工艺流程。
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融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
32
公司简介
晶拓半导体坐落于苏州工业园区，是专业的臭氧系统提供商。晶拓半导体作为苏州工业园区科技领军企业，自成立以来专注于研发半导体、LED和平板显示领域的臭氧系统解决方案，公司研发的半导体级高纯度臭氧气体与臭氧水系统填补国内空白，成功替代进口品牌，为中国半导体设备国产化事业做出贡献。晶拓半导体成立以来投入高额资金进行臭氧相关核心部件研发同时，进行实验室、无尘车间、测试平台的建设，在公司成长过程中，陆续通过ISO9001质量体系认证、CE与半导体行业SEMI-S2认证，达到一线半导体晶圆厂的准入标准。晶拓半导体已为全球光伏电池生产企业、半导体晶圆厂、LED芯片近600条生产线提供设备和服务，产品遍布中国大陆、台湾、印度、泰国、新加坡、马来西亚、越南、美国等市场，成为全球规模最大的工业领域臭氧相关设备供应商。
经营范围
许可项目：货物进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；机械电气设备制造；仪器仪表制造；仪器仪表销售；仪器仪表修理；软件开发；软件销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；太阳能发电技术服务；输配电及控制设备制造；电子产品销售；显示器件销售；机械零件、零部件销售；信息系统集成服务；办公用品销售；家用电器销售；金属材料销售；机械电气设备销售；汽车零配件批发（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
设计和制造半导体级高纯度臭氧气体与臭氧水系统，专注于服务半导体、LED、平板显示和光伏行业的设备需求，提供全球范围的技术解决方案和设备支持。
苏州晶拓半导体科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥625万
2020-08-26
艾凡凡
0512-65920792
sales@zst-solar.com
苏州工业园区娄葑北区创投工业坊20号厂房三楼（该地址不得从事零售）