智能微环境控制技术
该技术通过集成多传感器阵列（如气流、温湿度、颗粒计数器）和先进控制算法，实时监测并调节晶圆传输路径的环境参数。创新点包括基于机器学习的预测性维护模型，能自动识别并补偿潜在故障，维持稳定的Class 1洁净度环境，适用于先进制程（如7nm以下节点）。
精密晶圆传输机器人技术
该技术基于高速伺服驱动系统和空气轴承悬浮设计，实现晶圆在洁净环境中的无接触传输。创新点包括自研的低振动路径规划算法，结合纳米级传感器实时监测振动和位置偏移，确保传输过程中晶圆稳定性高于±0.1mm精度，并减少颗粒污染风险。
融资次数
6
员工数量
100-499人
专利数量
80
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；普通机械设备安装服务；通用设备修理；软件开发；电子产品销售；机械电气设备销售；仪器仪表销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；机械电气设备制造；技术进出口；货物进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
研发、生产并销售晶圆传输设备整机模块及关键零部件，帮助打破国外技术垄断，推动半导体产业链的国产化进程。
上海果纳半导体技术有限公司
有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
2020-03-17
YE YING
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